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양자 연구 핵심 장비 EBL 춘천 한림대 구축

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【춘천】 양자 연구 핵심 장비가 한림대에 구축된다.

춘천시는 양자 연구 장비인 전자빔리소그래피(이하 EBL) 장비가 지난 9일 한림대로 운송 완료돼 설치에 들어갔다고 13일 밝혔다.

EBL 장비는 양자 연구 및 장비 생산에 필수 불가결한 장비로 다양한 형태의 양자 소자를 시험 제작할 수 있고 분석 기능까지 갖췄다. 특히 반도체 공정 가운데 화학 약품 부식 작용을 이용, 반도체 바탕 소재인 웨이퍼의 특정 물질을 제거하는 식각 공정에 필요한 핵심으로 꼽힌다.

도와 시는 해당 장비 마련을 위해 30억원의 예산을 투입했다. 장비 설치는 약 6주가 소요되고 도와 시는 오는 4~5월 나노 융합팹 개소식을 열어 본격적인 장비 가동을 시작한다.

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