'최첨단의 빛'으로 불리는 EUV(Extreme Ultra-Violet·극자외선) 산업이 강원특별자치도에서 시작된다.
원주시와 (주)이솔은 1일 오후 시청 7층 투자상담실에서 부론일반산업단지에 소형 방사광가속기와 첨단 EUV 반도체 검사장비 연구·생산시설을 구축하는 것을 핵심으로 하는 총 505억원 규모 투자유치 협약(MOU)을 했다.
원주에 공장을 신축하는 이솔은 국내 처음으로 EUV 반도체 결함 리뷰 장비 개발에 성공하면서 기술력을 인정받은 업체다. 글로벌 반도체 업계와의 공동개발, 대기업과의 협업을 통해 성과를 내며 중소벤처기업부의 ‘소부장 스타트업 100’에 선정됐다.
특히 산업통상자원부가 이솔의 EUV 기술을 국제표준으로 제안할 정도로 국가적 신뢰를 받고 있다.
이와 함께 세계 최초로 EUV 펠리클 투과측정장비와 EUV 마스크 위상 측정장비, EUV 간섭 패터닝 장비 등을 잇따라 개발하며 글로벌 경쟁에서도 앞선다는 평가도 받고 있다. 현재 국내 특허 45건(출원 21건 포함), 해외 특허 16건(출원 13건)을 보유하고 있으며, 대한민국 파워 혁신기업(반도체 분야) 11위에 랭크됐다.
시는 이솔 원주공장이 본격 가동될 경우 연구생산과 서비스가 통합된 첨단 허브로 자리매김하고, 반도체를 넘어 의료와 바이오 소재 분야로 확대할 것으로 내다보고 있다.
원강수 시장은 “이솔의 앞선 기술력과 원주의 적극적인 지원이 만나 중부권 경제중심도시로의 도약을 앞당길 것”이라고 강조했다.
김병국 이솔 대표는 “컴팩트 방사광 가속기 상용화를 발판으로 EUV 장비와의 시너지를 극대화하는데 힘쓰고, 이를 발판 삼아 원주를 중심으로 나노소재와 바이오 산업 혁신을 선도하겠다”고 자신했다
※EUV란=파장 약 13.5㎚ 영역의 극자외선 빛. 반도체 초미세 공정(7㎚ 이하)에 필수적인 광원으로. 반도체 칩의 미세 회로를 정밀하게 새기는 핵심 역할을 한다.
