강원대 화공·생물공학부 엄한돈 교수가 참여한 공동연구팀이 반도체 제조 공정의 고질적 문제를 극복할 금속 촉매 화학 식각(MACE) 기술을 개발했다.
연구팀은 첫 번째 연구에서 세계 최초로 가스 상태에서의 금속 촉매 화학 식각(건식 식각(dry MACE)) 기술을 구현했으며, 특히 오존을 활용해 식각 속도를 기존 공정보다 70배가량 향상시켰다.
두 번째 연구에서는 촉매 형태에 따른 식각 방향을 정밀하게 제어하는 기술을 개발해 고성능 반도체 소자 제작에 핵심적인 작용이 가능해졌다.
이번 연구는 국제 학술지 ‘Advanced Materials’와 ‘Advanced Functional Materials’에 각각 게재됐다.
엄한돈 교수는 “이번 연구는 기존 기술의 한계를 극복해 가스 기반의 반도체 제조 공정과의 호환성을 높였다는 데 큰 의미가 있다”며 “차세대 반도체 공정의 경제성과 효율성을 획기적으로 개선할 수 있는 후속 연구를 적극 추진하겠다”고 밝혔다.
